반도체 Silicon Wafer 절삭
SY-MAX300R, SY-MAX300HSY-IT585NSY-EDR600,
SY-EDR630킬레이트제 SY-H813킬레이트제
SY-AC1000SY-BC529SY-IT515SY-EDRON100SY-GP515
SY-IT585N (반도체 200mm Wafer Wire-Saw용 CUTTING OIL)
SY-IT585N은 지용성 Oil을 기초로 하는 WAFER WIRE-SAW 장비에 가장 적합하도록 개발된 제품입니다. 본 제품은 윤활성과 열안정성, 분산성이 우수하여 200mm WAFER의 WIRE-SAW 절삭 공정의 CUTTING OIL로 사용합니다.
제품성상
| Product Type | Test Results |
| 외관 | 불투명 노랑 |
| pH(25℃) | 7.0±1.0 |
| Density(25℃, g/㎤) | 0.85±0.1 |
| Viscosity(mPas)(25℃) | 72±3 |
제품특징
- 구리(Cu)와 착화합물을 형성하는 능력이 탁월해 Wafer에 침투되는 구리 함량을 낮춰줍니다.
- F2+F3+ 등의 금속이온 발생을 방지합니다.
- OIL 증발 및 감량이 적고 고온 유동성이 우수하여 점도 및 점도지수 변화에 영향을 미치지 않습니다.
- 내마모성이 좋습니다.
- 윤활성이 뛰어나 Wafer 표면에 Scratch 및 Slurry 찌꺼기 부착을 방지합니다.
- 냉각성과 밀봉성이 우수하여 수율을 높여줍니다.
용도
200mmWAFER의 WIRE-SAW 절삭공정의 CUTTING OIL
포장단위
- 200KG PE Drum, 1000KG IBC Tank