반도체 Silicon Wafer 절삭
SY-MAX300R, SY-MAX300HSY-IT585NSY-EDR600,
SY-EDR630킬레이트제 SY-H813킬레이트제
SY-AC1000SY-BC529SY-IT515SY-EDRON100SY-GP515
SY-IT515 (Photo resist용 세정제)
SY-IT515는 반도체 제조공정시, 세정처리나 표면 보호막 형성 후에도 표면에 잔류하는
소수성의 유기분자 잔류물을 친수성 포접 화합물로 포접하여 물에 용해되기 쉬운 친수성 상태로 용이하게 제거할 수 있게 한 반도체
포토레지스트 패턴용 세정제이다.
제품성상
| Appearance | 무색액상 |
|---|---|
| pH(10%) | 11.5±0.5 |
제품장점
- 세정 후 불순물 미립자가 잔류하지 않고 우수한 용해력을 발휘한다.
- 하부 AI 또는 Cu 등의 금속배선에 대하여 저부식성을 나타낸다.
- 오링(O-ring) 및 배관재질인 Clean PVC에 대한 침해성을 최소화하였다.
- 사용온도에서 증발로 인한 손실량이 적어서 반복 사용할 때 증발에 의한 세정액 감소량이 적고, 성분량의 변화가 일정하고, 경제적이다.
- 점도가 낮아 세정 수조에서의 순환성이 우수하며, 표면장력이 낮아 린스공정(DI Water)시 글라스(glass)기판에 대한 친화성이 우수한 포토레지스트용 세정이다.
- 하부 AI 또는 Cu 등의 금속배선에 대하여 저부식성을 나타낸다.
- 오링(O-ring) 및 배관재질인 Clean PVC에 대한 침해성을 최소화하였다.
- 사용온도에서 증발로 인한 손실량이 적어서 반복 사용할 때 증발에 의한 세정액 감소량이 적고, 성분량의 변화가 일정하고, 경제적이다.
- 점도가 낮아 세정 수조에서의 순환성이 우수하며, 표면장력이 낮아 린스공정(DI Water)시 글라스(glass)기판에 대한 친화성이 우수한 포토레지스트용 세정이다.
용도
포장단위
- 1,000KG IBC Tank, 200KG PE Drum