반도체 Silicon Wafer 절삭
SY-MAX300R, SY-MAX300HSY-IT585NSY-EDR600,
SY-EDR630킬레이트제 SY-H813킬레이트제
SY-AC1000SY-BC529SY-IT515SY-EDRON100SY-GP515
SY-GP515(반도체 Wafer Polishing공정용 세정제)
SY-GP515는 SiC 공정의 polishing 공정 후 cleaning에 적합하게 개발한세정제입니다.
본제품은 반도체 웨이퍼 및 전자 기계 부품분야의 세정제로서 웨이퍼 표면 오염물인 유기오염물, 금속오염물, 파티클 및 산화막 세정에 탁월한 효과를 가지고 있습니다.제품성상
Product Type |
Test Results |
|---|---|
| 외관 | 무색투명액상 |
pH(25℃) |
12±0.5 |
specific gravity(@25℃) |
1.1±0.1 |
제품특징
- 침투력이 높고 표면장력이 낮은 저기포 계면활성제로서 세정력이 탁월하다.
- 친수성이 우수여 린스가 용이하며 얼룩이 생기지 않는다.
- 반도체 WAFER 세정 후 표면 오염 잔사가 없고, 공정에 영향이 가지 않아 WAFER 표면 불량률을 감소시킬 수 있다용도
- 150mm Wafer polishing 공정의 세정제
포장단위
- 200KG PE Drum, 1000KG IBC Tank